濕度傳感器是基于其功能材料能發(fā)生與濕度有關(guān)的物理效應(yīng)或化學(xué)反應(yīng)的基礎(chǔ)上制造的。它有將濕度物理量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的功能，這些功能可以通過(guò)與濕度有關(guān)的電阻或電容的變化，長(zhǎng)度或體積的脹縮以及結(jié)型器件或MOS器件的某些電參數(shù)的變化，例如PN結(jié)擊穿電壓、電流放大系數(shù)、反向漏電流、MOS器件的溝道電阻等的變化而得以實(shí)現(xiàn)。濕度傳感器的特性參數(shù)主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數(shù)、響應(yīng)時(shí)間、濕滯回差、感濕特征量一一相對(duì)濕度特性曲線等。

濕度敏感器件的靈敏度就其物理含義而言，應(yīng)當(dāng)反映相對(duì)于環(huán)境溫度變化的器件感濕特征量的變化程度，因此，它應(yīng)當(dāng)是器件的感濕特性曲線的斜率。在器件感濕特性曲線是直線的情況下，用直線的斜率來(lái)表示濕度敏感器件的靈敏度是恰當(dāng)而可行的。

然而，多數(shù)濕度敏感器件的感濕特性曲線是非線性的，在不同的相對(duì)濕度范圍內(nèi)曲線具有不同的斜率，這就造成用濕度敏感器件感濕特性曲線的斜率來(lái)表示器件靈敏度的困難。

目前，雖然關(guān)于濕度傳感器靈敏度的表示方法尚未得到統(tǒng)一，但較為普遍采用的方法是用器件在不同環(huán)境濕度下的感濕特征量之比來(lái)表示器件靈敏度。例如，日本生產(chǎn)的MgCrO₄-TiO₂濕度敏感器件的靈敏度，用一組器件電阻比R_1%/R_20%、R_1%/R_40%、R_1%/R_60%、R_1%/R_80%、R_1%/R_100%表示，其中R_1%、R_20%、R_40%、R_60%、R_80%、R_100%分別為相對(duì)濕1%、20%、40%、60%、80%及100%時(shí)器件的電阻值。