潔凈室中高效過濾器的安裝密封,是確保潔凈室潔凈度的關鍵因素之一,因此,在潔凈室設計時,應該選擇先進的密封技術和可靠的密封方法。
(1)接觸填料密封 密封用填料有固體密封墊(如氯丁橡膠板、閉孔海綿橡膠板等)和液體密封膠(如硅橡膠、氯丁橡膠、天然橡膠等)。固體密封墊一般采用螺栓螺母機械壓緊的密封方法。橡膠板的壓縮量一般為30%一50%。液體密封膠是靠填充和粘附方法密封。該密封方法是一般潔凈室最常用的密封方法。
(2)液槽刀口密封 在槽形框架中注入一定高度的非牛頓密封液體(如氯異丁烯等),高效過濾器的刀口插入密封液里,使兩側的空氣通路受到阻隔,達到密封目的。這種密封方法可靠性強,過濾器拆裝方便,通常應用于5級、4級和更高級別潔凈度的潔凈室密封。
(3)負壓漏泄密封 這種密封方法的原理是正壓空間泄漏的污染空氣,人為疏導到工作區外的負壓空間,確保工作區不受污染。這種密封方法通常用于小規格的潔凈室的密封。高效過濾器密封方法的示意圖見圖44-14。