（1）高真空技術為了提供極高的真空度，需要在擴散泵上加冷阱。用熱電制冷的冷阱與用液態氣體（如液態空氣、液氮、）制冷的冷阱相比，前者可以將真空度提高約1個數量級。

（2）工業氣體含水量的測定與控制冶金、化工、機械制造工業中，常常需要準確地測定氣體的露點。測定裝置中的露點溫度計是很關鍵的部件。用熱電制冷元件制作的露點溫度計具有結構簡單，精度高的優點。圖8-8是69式露點儀的示意圖。它可以測至一90℃的露點溫度。其工作過程如下：被測氣體由入口流人工作室，開動儀器，使鏡面開始降溫，首先調節光柵G,G，使硅光電池A,A'的光電壓差等于零，這時沒有信號輸出。在整個過程中鏡面溫度由露點溫度顯示器W自動追蹤顯示。當溫度降到一定程度，鏡面出現露珠時，硅光電池A'的受光顯著減弱，A與A通過I的比較，有信號輸出。這個信號經過放大及一系列過程去帶動繼電器Ⅲ，使指示燈Ⅷ發出指示。同時，制冷電堆的電源停止供電，溫度跟蹤也隨之停止。這時露點溫度顯示器I顯示出的值即為露點溫度。

為了重復進行測量，需要消露。這時，只要改變制冷電堆的電流方向將對鏡面的制冷作用轉變成加熱作用即可實現。不過需要注意反向電流一般應小于正向電流，以免過熱燒壞制冷電堆的元件。

（3）測量儀和分析儀熱電偶溫度測量裝置中必須使用零點儀。一般多用冰水混合物作零點，使用起來不夠方便。可以用熱電制冷器做成人工零點儀，使測量方便可靠。圖8-9示出半導體零點儀的一種結構。

又摩如，在石油、化工工業中需要測量各種冷凝液、油品的物理性質，比如石油傾點、石油凝點等，這些測量儀和分析儀也用到熱電制冷。

精密機床的油箱冷卻也可以用熱電制冷提供冷源。